TEOS を用いたSiO2/SiC 構造の作製と評価
TEOS を用いたSiO2/SiC 構造の作製と評価
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使用 TEOS 制备和评估 SiO2/SiC 结构
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山上朋彦，林部林平，上村喜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
酒井崇史;逸見充則;赤羽桂幸;狩野巧生;丸山洋平;山上朋彦，林部林平，上村喜
