インチワーム型多自由度マイクロアクチュエータの粗動特性
インチワーム型多自由度マイクロアクチュエータの粗動特性
复制标题
尺蠖式多自由度微执行机构的粗动特性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
植田明照
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鳥井昭宏;坂野正昭;植田明照
