超音波アシスト水熱合成法によるPZT圧膜の繰り返し成膜とその組成ならびに圧電特性評価

超音波アシスト水熱合成法によるPZT圧膜の繰り返し成膜とその組成ならびに圧電特性評価
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超声波辅助水热合成法重复成膜PZT压力薄膜及其成分和压电性能评价

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
三枝勝博,森田剛
三枝勝博,森田剛
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Daisuke Kawashima;Naoto Kakuta;Katsuya Kondo;Hidenobu Arimoto;Yukio Yamada;山田 航也,池本 篤史,井上 剛志,内海 政春;高山陸離,森田剛;角田 直人;加藤 潤也,井上 剛志,高木 賢太郎,藪井 将太,真鍋 宏規;三枝勝博,森田剛

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