多価イオンを用いた表面原子層選別SIMSの開発I

多価イオンを用いた表面原子層選別SIMSの開発I
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使用多价离子 I 进行表面原子层选择的 SIMS 开发

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
本橋健次
本橋健次
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.Shimanuki;Y.Matsumoto;A.Nomura;T.Ikari;M.Naitoh;S.Nishigaki;N.Toyama;本橋健次

文献摘要

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