ゲッタリング技術開発に資する数値シミュレーション
ゲッタリング技術開発に資する数値シミュレーション
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数值模拟有助于吸气技术的发展
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
末岡浩治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koji Sueoka;Shunta Yamaoka;Susumu Maeda;Yuji Mukaiyama;Masaya Iizuka andVasif M. Mamedov;末岡浩治;末岡浩治
