Effects of Cu Self-Capping and Ta Capping on Nanometer-Sized Cu Films Sputter-Deposited on β-Ta
Effects of Cu Self-Capping and Ta Capping on Nanometer-Sized Cu Films Sputter-Deposited on β-Ta
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Cu 自覆盖和 Ta 覆盖对溅射沉积纳米尺寸 Cu 薄膜的影响
DOI：
10.2320/matertrans.m2010286
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发表时间：
2011
影响因子：
1.2
通讯作者：
H.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tanimoto;H.;Sugimori,T.;Kumamoto;S.;Matsui;H. and Mizubayashi;H.
