Flow effects on the morphology of silicon materials produced in a gas phase reaction of SiCl4
Flow effects on the morphology of silicon materials produced in a gas phase reaction of SiCl4
复制标题
流动对 SiCl4 气相反应生成硅材料形貌的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Susumu Inasawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Taiga Saito;Akira Hoshino;Eita Shoji;Tetsushi Biwa;Masaki Kubo;Takao Tsukada;Takaaki Tomai;Tadafumi Adschiri;Susumu Inasawa
