SiCのレーザスライシング加工における剥離面形成メカニズム
SiCのレーザスライシング加工における剥離面形成メカニズム
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SiC激光切片剥离表面形成机制
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田洋平，阿部達毅，浅原浩和，富士和則，明田正俊，池野順一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yohei Yamada; and Junichi Ikeno;山田洋平，阿部達毅，浅原浩和，富士和則，明田正俊，池野順一;山田洋平，阿部達毅，浅原浩和，富士和則，明田正俊，池野順一
