Low damage smoothing of magnetic material films using a gas cluster ion beam
Low damage smoothing of magnetic material films using a gas cluster ion beam
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使用气体团簇离子束对磁性材料薄膜进行低损伤平滑
DOI：
10.1016/j.nimb.2007.01.110
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发表时间：
2007
影响因子：
1.3
通讯作者：
J. Matsuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kakuta;Sasaki Shinji;T. Hirano;K. Ueda;T. Seki;S. Ninomiya;M. Hada;J. Matsuo
