イオン液体を用いたSi薄膜形成に対するパルス電析条件の影響の検討
イオン液体を用いたSi薄膜形成に対するパルス電析条件の影響の検討
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研究脉冲电沉积条件对离子液体硅薄膜形成的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福住康太，國本雅宏，渡貫修永，福中康博，本間敬之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
笠松秀輔;杉野修;小川貴史;桑原彰秀;福住康太，國本雅宏，渡貫修永，福中康博，本間敬之
