Daisuke Miyauchi,Hiroshi Toshiyoshi,Hiroyuki Fujita: "Self-Alignment Fabrication Technique Surface-Micromachined Optical Switches to Bulk-Micromachined V-Grooves" Trans.IEE Japan. vol.119-E,No.2. 108-112 (1999)
Daisuke Miyauchi,Hiroshi Toshiyoshi,Hiroyuki Fujita: "Self-Alignment Fabrication Technique Surface-Micromachined Optical Switches to Bulk-Micromachined V-Grooves" Trans.IEE Japan. vol.119-E,No.2. 108-112 (1999)
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Daisuke Miyauchi、Hiroshi Toshiyoshi、Hiroyuki Fujita:“自对准制造技术表面微机械光学开关到体微机械 V 形槽”Trans.IEE Japan。
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