R.Nozawa et.al: "Effects of ions on surface morphology and structures of polycrystalline silicon films prepared by electron cyclotron resonance silane/hydrogen plasmas" PLASMA PROCESSING XI. 11. 662-667 (1996)
R.Nozawa et.al: "Effects of ions on surface morphology and structures of polycrystalline silicon films prepared by electron cyclotron resonance silane/hydrogen plasmas" PLASMA PROCESSING XI. 11. 662-667 (1996)
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R.Nozawa 等人：“离子对电子回旋共振硅烷/氢等离子体制备的多晶硅薄膜表面形态和结构的影响”等离子体处理 XI。
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