SiC基板への回路描画を目指したフェムト秒レーザー改質
SiC基板への回路描画を目指したフェムト秒レーザー改質
复制标题
飞秒激光修饰用于 SiC 基板上的电路绘制
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
富田 卓朗
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
板東 洋太;直井 美貴;富田 卓朗
