S.Itoh, H.Uchida, M.Ichimura, and E.Arai: ""Annealing Characteristics of Carrier Profiles near Bonding Interface of SOI Substrates" (in Japanese)"ibid.. SDM2000-169. 15-21 (2000)
S.Itoh, H.Uchida, M.Ichimura, and E.Arai: ""Annealing Characteristics of Carrier Profiles near Bonding Interface of SOI Substrates" (in Japanese)"ibid.. SDM2000-169. 15-21 (2000)
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S.Itoh、H.Uchida、M.Ichimura 和 E.Arai：“SOI 衬底接合界面附近载流子分布的退火特性”（日语）”同上.. SDM2000-169。
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