Defect interaction by dual MeV ion implantation in silicon
Defect interaction by dual MeV ion implantation in silicon
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硅中双 MeV 离子注入的缺陷相互作用
DOI：
10.1016/s0168-583x(01)00938-7
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N. Cho
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Ro;N. Cho
