SOI基板を用いたコンビナトリアル探索用カンチレバーデバイス製作
SOI基板を用いたコンビナトリアル探索用カンチレバーデバイス製作
复制标题
使用 SOI 衬底制造用于组合勘探的悬臂装置
DOI:
--
复制
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
前谷卓哉,本川侑季,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
河合 駿;岡田 法大;湯澤 勝浩;佐々木 寛人;蟹江 慧;清田 泰次郎;清水 一憲;本多 裕之;加藤 竜司;前谷卓哉,本川侑季,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一;本川侑季,前谷卓哉,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一;前谷卓哉,本川侑季,小林義典,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一;前谷卓哉,本川侑季,溝尻瑞枝,櫻井淳平,秦誠一