K.Kimoto, Y.Matsui, T.Nabatame, T.Yasuda, T.Mizoguchi, I.Tanaka, A.Toriumi: "Coordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si 001 using energy-loss near-edge structures"Appl.Phys.Lett.. 83. 4306 (2003)

K.Kimoto, Y.Matsui, T.Nabatame, T.Yasuda, T.Mizoguchi, I.Tanaka, A.Toriumi: "Coordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si 001 using energy-loss near-edge structures"Appl.Phys.Lett.. 83. 4306 (2003)
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K.Kimoto、Y.Matsui、T.Nabatame、T.Yasuda、T.Mizoguchi、I.Tanaka、A.Toriumi:“利用近边缘能量损失对 Si 001 上原子层沉积 Al2O3 进行配位和界面分析

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