S.Maruo,K.Ikuta,H.Korogi: "Light-driven MEMS made by high-speed two-photon microstereolithography"Proc.of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2001). 594-597 (2001)
S.Maruo,K.Ikuta,H.Korogi: "Light-driven MEMS made by high-speed two-photon microstereolithography"Proc.of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2001). 594-597 (2001)
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S.Maruo、K.Ikuta、H.Korogi：“由高速双光子微立体光刻技术制成的光驱动 MEMS”Proc.of IEEE 国际微机电系统会议 (MEMS 2001)。
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