Nanocluster dynamic simulation during high rate epitaxial deposition under mesoplasma condition
Nanocluster dynamic simulation during high rate epitaxial deposition under mesoplasma condition
复制标题
中质条件下高速外延沉积纳米团簇动态模拟
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Yoshida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L.-W. Chen;Y. Shibuta;M. Kambara;T. Yoshida
