Atmospheric-pressure plasma-enhanced CVD of microporous SiO2 membranes in a direct barrier discharge
Atmospheric-pressure plasma-enhanced CVD of microporous SiO2 membranes in a direct barrier discharge
复制标题
直接阻挡放电中微孔 SiO2 膜的大气压等离子体增强 CVD
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshinori Tsuru
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Nagasawa,Takahiko Kagawa;Masakoto Kanezashi;Toshinori Tsuru
