田部道晴: "Si清浄表面のN_2ガスによる熱窒化" 表面科学. 17・7. 19-24 (1996)

田部道晴: "Si清浄表面のN_2ガスによる熱窒化" 表面科学. 17・7. 19-24 (1996)
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Michiharu Tabe:“用 N_2 气体进行硅清洁表面的热氮化”表面科学 17・7(1996)。

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