レーザアシスト光電気化学エッチングによるGaNマイクロディスク共振器の作製と光学評価
レーザアシスト光電気化学エッチングによるGaNマイクロディスク共振器の作製と光学評価
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激光辅助光电化学刻蚀GaN微盘谐振器的制造和光学评估
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田尻 武義
中科院分区：
文献类型：
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作者：
下吉 賢信;浮田 駿;内田 和男;田尻 武義
