アニール処理されたスパッタAlN テンプレート上AlGaN多重量子井戸における内部量子効率のc 面サファイアm軸オフ角依存性
アニール処理されたスパッタAlN テンプレート上AlGaN多重量子井戸における内部量子効率のc 面サファイアm軸オフ角依存性
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退火溅射 AlN 模板上 AlGaN 多量子阱中内量子效率的 C 面蓝宝石 m 轴偏角依赖性
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
押村遼太;赤松勇紀;藤井厚志;倉井聡;室谷英彰;上杉謙次郎;三宅秀人;山田陽一
