冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化
冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化
复制标题
使用冷冻针卡盘优化基板固定程序
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hirofumi Nabesawa;Masumi Yamada;Minoru Seki;安井学,金子智,黒内正仁,小沢武,伊藤寛明,荒井政大;吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋
