尾関,山根,佐々木 他: "Al_3Hf金属間化合物の陽極酸化膜による高耐熱,高信頼性薄膜キャパシタの実現"電子情報通信学会論文誌. J81-C-II. 619-627 (1998)
尾関,山根,佐々木 他: "Al_3Hf金属間化合物の陽極酸化膜による高耐熱,高信頼性薄膜キャパシタの実現"電子情報通信学会論文誌. J81-C-II. 619-627 (1998)
复制标题
Ozeki、Yamane、Sasaki 等人：“使用 Al_3Hf 金属间化合物阳极氧化膜实现高耐热性和高可靠性薄膜电容器”，电子、信息和通信工程师学会汇刊 J81-C-II。 627 (1998)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
