Nanocrystalline diamond thin films deposited by 35 kHz Ar-rich plasmas
Nanocrystalline diamond thin films deposited by 35 kHz Ar-rich plasmas
复制标题
35 kHz 富氩等离子体沉积的纳米晶金刚石薄膜
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Albella
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. M. López;F. Gordillo‐Vázquez;J. Albella
