一酸化炭素プラズマからのイオン照射によるニッケルスパッタリングの解析
一酸化炭素プラズマからのイオン照射によるニッケルスパッタリングの解析
复制标题
一氧化碳等离子体离子辐照镍溅射分析
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
熊本顕人
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kubo Tetsuro;Tou Hideki;Kotegawa Hisashi;Harima Hisatomo;Higashinaka Ryuji;Nakama Akihiro;Aoki Yuji;Sato Hideyuki;伊山修;熊本顕人
