ScAlN 薄膜装荷による縦型リーキー弾性表面波の低損失化
ScAlN 薄膜装荷による縦型リーキー弾性表面波の低損失化
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通过负载 ScAlN 薄膜实现低垂直漏表面声波损耗
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
垣尾 省司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
五味 将史;垣尾 省司
