高温熱処理したスパッタAlN膜のクラック発生条件
高温熱処理したスパッタAlN膜のクラック発生条件
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溅射AlN薄膜高温热处理开裂条件
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
酒井 朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林 侑介;上杉 謙次郎;正直 花奈子;三宅 秀人;藤平 哲也;酒井 朗
