FORMATION METHOD FOR SU-8 FILM WITH UNIFORM THICKNESS OF 400 MICROMETERS
FORMATION METHOD FOR SU-8 FILM WITH UNIFORM THICKNESS OF 400 MICROMETERS
复制标题
400微米均匀厚度的SU-8薄膜的形成方法
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Teruo Fujii
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tamio Fujiwara;Hiroshi Ohue;Haruyuki Kinoshita;Teruo Fujii
