A.M.Wrobel, S.Wickramanayaka et al.: "High guality amorphous hydrogenated silicon carbide coatings by remote plasma chemical vapor deposition from a single-source..." Journal of Materials Processing Technology. 53. 477-482 (1995)
A.M.Wrobel, S.Wickramanayaka et al.: "High guality amorphous hydrogenated silicon carbide coatings by remote plasma chemical vapor deposition from a single-source..." Journal of Materials Processing Technology. 53. 477-482 (1995)
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A.M.Wrobel、S.Wickramanayaka 等人：“通过单一来源的远程等离子体化学气相沉积实现高质量非晶氢化碳化硅涂层......”材料加工技术杂志。
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