H.Satoh,;M.Owari,;Y.Nihei: Jour.Vocuum Science ＆ Technology. 6. 915 (1988)
H.Satoh,;M.Owari,;Y.Nihei: Jour.Vocuum Science ＆ Technology. 6. 915 (1988)
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H.Satoh，；M.Owari，；Y.Nihei：Jour.Vocuum 科学与技术。 6. 915 (1988)
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