メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
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使用镀金厚膜掩模制造 RF-MEMS 共面波导
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山根大輔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩谷真一郎;薬師寺博;三谷宣仁;櫻井直樹;山根大輔
