電気銅めっきによる孔埋め込みにおける塩化物イオンの効果-分子シミュレーションによるアプローチ-
電気銅めっきによる孔埋め込みにおける塩化物イオンの効果-分子シミュレーションによるアプローチ-
复制标题
氯离子对电解镀铜孔填充的影响-分子模拟方法-
DOI:
--
复制
发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
金子豊
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
金子豊;樋渡保秋;小原勝彦;浅富士夫;金子豊