MEMS 技術を用いた超軽量X線望遠鏡の ALD による Pt 膜付加工
MEMS 技術を用いた超軽量X線望遠鏡の ALD による Pt 膜付加工
复制标题
采用 ALD 铂膜 MEMS 技术加工超光 X 射线望远镜
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. J. Sowa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
伊師大貴;江副祐一郎;石川久美;沼澤正樹;大坪亮太;福島碧都;鈴木光;湯浅辰哉;内野友樹;作田紗恵;満田和久;M. J. Sowa
