Fabrication of Al Line for Generating Thin Wire by Electromigration

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电迁移生产细线铝线的制造

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proc. 1st Tohoku-PNU Joint Workshop on Mechanical Science Based on Nanotechnology
影响因子：
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通讯作者：
(M.Saka)
(M.Saka)
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Kato;(M.Saka)

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