Microfabrication of nano - scale pattern on crosslinked PTFE using focused ion beam
Microfabrication of nano - scale pattern on crosslinked PTFE using focused ion beam
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使用聚焦离子束在交联 PTFE 上微加工纳米级图案
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Tagawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Fukutake;T. Urakawa;Y. Takasawa;A. Oshima;M.Washio;K. Okamoto;S. Tagawa
