曲面エッチング加工を用いたサブミリ波 観測用広帯域シリコンレンズの開発

曲面エッチング加工を用いたサブミリ波 観測用広帯域シリコンレンズの開発
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利用弯曲蚀刻工艺开发用于亚毫米波观测的宽带硅透镜

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
佐々木実
佐々木実
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
長谷部孝;佐々木実

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