Fabrication and characterization of an integrated Schottky emitter array for multi-bean lithography applications

Fabrication and characterization of an integrated Schottky emitter array for multi-bean lithography applications
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用于多束光刻应用的集成肖特基发射器阵列的制造和表征

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
IEEE Microelectromechanical systems 20
影响因子：
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通讯作者：
C.H.Tsai
C.H.Tsai
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Nomura;H.;Millar;T.J.;C.H.Tsai

文献摘要

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