GaAs基板の光触媒研磨技術の検討
GaAs基板の光触媒研磨技術の検討
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GaAs衬底光催化抛光技术研究
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
峠 睦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
洪 錫亨;石井秀明;渡邉純二;峠 睦
