In situ temperature measurement of crystallization process of tin oxide films in ELAMOD process at nano second time scale
In situ temperature measurement of crystallization process of tin oxide films in ELAMOD process at nano second time scale
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纳秒级ELAMOD工艺中氧化锡薄膜结晶过程的原位温度测量
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kentaro Shinoda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsukasa Katsuki;Tetsuo Tsuchiya;Jun Akedo;Atsushi Yumoto;Kentaro Shinoda
