サファイア基板への微細溝加工における溝形状と工具送り速度の相関
サファイア基板への微細溝加工における溝形状と工具送り速度の相関
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蓝宝石基板微槽加工中沟槽形状与刀具进给速度之间的相关性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大森整
中科院分区：
文献类型：
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作者：
春日博;根本昭彦;加藤照子;大森整
