電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
复制标题
无阀压电微泵流动特性的等效电路分析及实验评价
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
田畑修
中科院分区:
文献类型:
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作者:
田中伸治;市橋治;菅野公二;土屋智由;田畑修