メタルアシストエッチングと陽極酸化アルミナを用いた規則配列Si ナノワイヤの形成と反射率特性評価

メタルアシストエッチングと陽極酸化アルミナを用いた規則配列Si ナノワイヤの形成と反射率特性評価
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使用金属辅助蚀刻和阳极氧化铝形成有序硅纳米线并评估反射率特性

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
新宮原 正三
新宮原 正三
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山口 卓也;清水 智弘;新宮原 正三

文献摘要

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