微粒子プラズマプロセスの開発とナノ粒子デバイスへの応用展開
微粒子プラズマプロセスの開発とナノ粒子デバイスへの応用展開
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粒子等离子体工艺的发展及其在纳米粒子器件中的应用
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田儀一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takumi Araya;Takashi Shibata;Hiroki Kikuchi;Seiji Mukaigawa;Koichi Takaki;内田儀一郎
