Study on Fabrication of X-ray collimators by X-ray lithography using synchrotron radiation
Study on Fabrication of X-ray collimators by X-ray lithography using synchrotron radiation
复制标题
同步辐射X射线光刻制作X射线准直器的研究
DOI：
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发表时间：
2021
影响因子：
0.8
通讯作者：
and A. Yamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Saegusa;N. Narukage;Y. Utsumi;and A. Yamaguchi
