Synthesis and characterization of BN thin films prepared by plasma MOCVD with organoboron precursors

Synthesis and characterization of BN thin films prepared by plasma MOCVD with organoboron precursors
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有机硼前驱体等离子体 MOCVD 制备 BN 薄膜的合成与表征

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proc. of the 9th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes(ISSP2007)
影响因子：
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通讯作者：
H. Yasui
H. Yasui
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
N. Ikenaga;Y. Kishi;Z. Yajima;N. Sakudo;N. Ikenaga;Y. Kishi;Y. Kishi;N. Sakudo;N. Sakudo;N. Ikenaga;H. Yasui

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