武山 真弓、野矢 厚: "Cu/Siコンタクトにおける置換型TiZrN合金膜の拡散バリヤ効果" 第46回応用物理学関係連合講演会. 29p-ZQ-8. (1999)

武山 真弓、野矢 厚: "Cu/Siコンタクトにおける置換型TiZrN合金膜の拡散バリヤ効果" 第46回応用物理学関係連合講演会. 29p-ZQ-8. (1999)
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Mayumi Takeyama,Atsushi Noya:“Cu/Si 接触中取代的 TiZrN 合金膜的扩散势垒效应”第 46 届应用物理协会会议(1999 年)。

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