S.Takahashi,T.Miyoshi,and Y.Takaya: "Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern"Proceedings of the ASME Manufacturing Engineering Division. Orland. 209-214 (2000)
S.Takahashi,T.Miyoshi,and Y.Takaya: "Automatic Defects Measurement On Silicon Wafer Surface By Laser Scattered Defect Pattern"Proceedings of the ASME Manufacturing Engineering Division. Orland. 209-214 (2000)
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S.Takahashi、T.Miyoshi 和 Y.Takaya：“通过激光散射缺陷图案自动测量硅晶片表面的缺陷”ASME 制造工程部论文集。
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