プラズモンセンサを用いた磁気ディスク表面・界面の超高精度計測・解析技術
プラズモンセンサを用いた磁気ディスク表面・界面の超高精度計測・解析技術
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使用等离子体传感器的磁盘表面和界面的超高精度测量和分析技术
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
柳沢雅広,齋藤美紀子,本間敬之
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Takayuki Homma; Atsushi Takami;Masahiro Kunimoto;N. MARUOKA;柳沢雅広,齋藤美紀子,本間敬之